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何為勻膠機(jī)及其的工作原理

更新時(shí)間:2019-07-10點(diǎn)擊次數(shù):2150

勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。

 

  勻膠工作原理

 

  一個(gè)典型的勻膠過程包括滴膠,高速旋轉(zhuǎn)以及干燥(溶劑揮發(fā))幾個(gè)步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上,高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成簿層,干燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方式是靜態(tài)滴膠和動(dòng)態(tài)滴膠。靜態(tài)滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心,滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高或基片比較大,往往需要滴較多的膠,以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基片上都涂到膠。動(dòng)態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉(zhuǎn)/分左右)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠,“動(dòng)態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開,減少光刻膠的浪費(fèi),采用動(dòng)態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個(gè)基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下,動(dòng)態(tài)滴膠尤其適用,不會產(chǎn)生針孔。滴膠之后,下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達(dá)到終要求的膜厚,這個(gè)階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,固體含量以及表面張力等)以及基片的大小。快速旋轉(zhuǎn)的時(shí)間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時(shí)間往往能決定終膠膜的厚度。

 

  一般來說,勻膠轉(zhuǎn)速快,時(shí)間長,膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多,這些因素在勻膠時(shí)往往相互抵銷并趨于平衡。所以給予勻膠過程以足夠的時(shí)間,讓諸多影響因素達(dá)到平衡。勻膠工藝中重要的一個(gè)因素就是可重復(fù)性。

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